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工程与技术科学

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试述光刻加工的主要阶段？

正确答案: 光刻加工可分为两个加工阶段，第一阶段为原版制作，生成工作原版或工作掩膜，为光刻加工时用；第二阶段为光刻。
答案解析:有
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