简述多通道技术。
正确答案:
磁力显微镜（MFM）和静电力显微镜（EFM）
1、MFM和EFM分辨率
1）MFM和EFM是长程力，水平分辨率随着抬高距离的增加而降低
2）其分辨率通常受限制于抬高高度
3）最低的抬高高度应小于表面的粗糙度
4）MFM的极限分辨率为20nm
5）MFM通常所能达到的分辨率为50nm
扫描开尔文探针显微镜和扫描电容显微镜
1、开尔文模式的矢量电荷光刻
2、力谱模式：接触式力曲线、轻敲式力曲线
3、纳米光刻：STM刻蚀、AFM电压刻蚀、AFM刮刻（接触）和AFM挖刻（轻敲）
4、扫描探针光刻：在深纳米尺度范围内图像化的一种技术
5、实用技术：原子操控、原子键断裂和纳米化学
6、蘸水笔纳米光刻DPN（墨水与衬底有亲和作用）：直接写、模板操作
7、影响DPN图形分辨率的因素：分辨率小于15nm的点阵图可以实现
1）表面晶粒尺寸：尺寸越大吸附越好；
2）表面化学吸附性能；
3）探针驻留时间；
4）环境湿度影响等。
1、MFM和EFM分辨率
1）MFM和EFM是长程力，水平分辨率随着抬高距离的增加而降低
2）其分辨率通常受限制于抬高高度
3）最低的抬高高度应小于表面的粗糙度
4）MFM的极限分辨率为20nm
5）MFM通常所能达到的分辨率为50nm
扫描开尔文探针显微镜和扫描电容显微镜
1、开尔文模式的矢量电荷光刻
2、力谱模式：接触式力曲线、轻敲式力曲线
3、纳米光刻：STM刻蚀、AFM电压刻蚀、AFM刮刻（接触）和AFM挖刻（轻敲）
4、扫描探针光刻：在深纳米尺度范围内图像化的一种技术
5、实用技术：原子操控、原子键断裂和纳米化学
6、蘸水笔纳米光刻DPN（墨水与衬底有亲和作用）：直接写、模板操作
7、影响DPN图形分辨率的因素：分辨率小于15nm的点阵图可以实现
1）表面晶粒尺寸：尺寸越大吸附越好；
2）表面化学吸附性能；
3）探针驻留时间；
4）环境湿度影响等。
答案解析:有
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