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集成电路制造工艺员

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按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

  • A、光学曝光
  • B、离子束曝光
  • C、接近式曝光
  • D、电子束曝光
  • E、投影式曝光
正确答案:A,B,D
答案解析:有
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