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半导体芯片制造工

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解释水的去离子化。在什么电阻率级别下水被认为已经去离子化?

正确答案:用以制造去离子水的去离子化过程是指,用特制的离子交换树脂去除电活性盐类的离子。18MΩ-cm电阻率级别下水被认为已经去离子化。
答案解析:
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