X射线荧光光谱内标法，即把一定量的内标元素加入到标准试料及分析试料中，以标准试料中分析元素与内标元素的X射线荧光强度比与分析元素含量绘制校准曲线。测定分析试料的分析元素与内标元素的X射线荧光强度比，从校准曲线求得分析元素含量。