某发明专利申请的权利要求1如下：“权利要求1：一种半导体器件，包括部件a、b、c。”下列哪些权利要求的撰写存在缺陷？（）

• A、权利要求2：如权利要求1所述的制造半导体器件的方法，其特征在于d
• B、权利要求2：制造如权利要求1所述的半导体器件的方法，其特征在于e
• C、权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于所述部件f由铜制成
• D、权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于还包括部件g