简述溅射镀膜的特征
正确答案:
（1）溅射出来的粒子角分布取决于入射粒子的方向.
（2）从单晶靶溅射出来的粒子显示择优取向.
（3）溅射率不仅取决于入射粒子的能量，也取决于入射粒子的质量.
（4）溅射出来的粒子平均速率比热蒸发的粒子平均速率高得多.
（2）从单晶靶溅射出来的粒子显示择优取向.
（3）溅射率不仅取决于入射粒子的能量，也取决于入射粒子的质量.
（4）溅射出来的粒子平均速率比热蒸发的粒子平均速率高得多.
答案解析:有
微信扫一扫手机做题
多做题，通过考试没问题！
材料科学
材料科学
简述溅射镀膜的特征
微信扫一扫手机做题