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材料科学

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简述溅射镀膜的特征

正确答案: (1)溅射出来的粒子角分布取决于入射粒子的方向.
(2)从单晶靶溅射出来的粒子显示择优取向.
(3)溅射率不仅取决于入射粒子的能量,也取决于入射粒子的质量.
(4)溅射出来的粒子平均速率比热蒸发的粒子平均速率高得多.
答案解析:
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