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真空镀膜操作员

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离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？

正确答案: 主要目的是快速冷却，由于氩气是不活泼性气体，很难与离子源部件发生氧化。
答案解析:有
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