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半导体芯片制造工

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叙述H2还原SiCl4外延的原理,写出化学方程式。

正确答案: 在气相外延生长过程中,首先是反应剂输运到衬底表面;接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子,硅原子按衬底晶向成核,长大成为单晶层。化学方程式如下:
答案解析:
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