简述你所在工艺的工艺质量要求？你如何检查你的工艺质量？
正确答案:
外延要求：1.集电极击穿电压要求
2.集电极串联电阻要小.
3.高频大功率小型化.
刻蚀要求：1.图形转换的保真度高
2.选择比高.
3.刻蚀速率高.
4.刻蚀剖面.
5.刻蚀偏差.
6.刻蚀因子大.
7.均匀性.
2.集电极串联电阻要小.
3.高频大功率小型化.
刻蚀要求：1.图形转换的保真度高
2.选择比高.
3.刻蚀速率高.
4.刻蚀剖面.
5.刻蚀偏差.
6.刻蚀因子大.
7.均匀性.
答案解析:有
微信扫一扫手机做题