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集成电路制造工艺员

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在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

  • A、CA光刻胶对深紫外光吸收小
  • B、CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
  • C、CA光刻胶在显影液中的可溶性强
  • D、有较高的光敏度
  • E、有较高的对比度
正确答案:A,B,C,D,E
答案解析:有
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