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能源科学技术

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下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。

  • A、4HF+Si=SiF4+2H2↑
  • B、CF4+SiO2——→SiF4+CO2↑
  • C、CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2↑
  • D、SiO2+4HF——→SiF4+2H2O
正确答案:D
答案解析:有
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