解决变间隙式电容传感器提高 K₀与Y₀间的矛盾，可采用（）电容传感器，后者与前者相比，不仅灵敏度（），而且非线性误差也（）。但是，它还受电容极板间（）的限制，为此，常采用（）的变间隙式电容传感器。