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集成电路制造工艺员

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在新一代的CMP中,有使用()磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。

  • A、二氧化锰
  • B、铝
  • C、氧化铬
  • D、金刚石
正确答案:A
答案解析:
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