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半导体芯片制造工

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以P2O2为例说明SiO2的掩蔽过程。

正确答案: 以P2O2杂质源为例来说明SiO2的掩蔽过程:当P2O2与SiO2接触时,SiO2就转变为含磷的玻璃体。A.扩散刚开始,只有靠近表面的SiO2转变为含磷的玻璃体。B.大部分SiO2层已转变为含磷的玻璃体。C.整个SiO2层都转变为含磷的玻璃体。D.在SiO层完全转变为玻璃体后,又经过一定时间,SiO2层保护的硅中磷已经扩进一定深度。
答案解析:
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