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能源科学技术

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如何进行真空管路检查?

正确答案:1.排查真空泵到层压机腔室之间的真空管道,紧固管道各法兰固定螺母、软管抱箍螺栓;
2.检查上室真空软管,必要时更换;
3.在手动界面开启真空泵,同时抽取上、下室真空。对容易产生泄漏的地方用涂抹肥皂沫的方法加以确认,如有泄漏应及时解决。
答案解析:
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