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平板显示技术考试

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简述自对准结构的优点。

正确答案:优点是:1)利用自对准技术减少了光刻次数,可以降低成本;
2)能够有效避免栅源和栅漏的交叠面积,提高对准精度,减小寄生电容。
答案解析:
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