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集成电路制造工艺员

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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

  • A、正
  • B、负
  • C、中性
  • D、以上答案都可以
正确答案:A
答案解析:有
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