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半导体芯片制造工

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例举并解释5个进行在线参数测试的理由。

正确答案:五个进行在线参数测试的理由为:
(1)鉴别工艺问题:硅片制造过程中工艺问题的早期鉴定(而不是等到已经完成了硅片制造才发现有问题进行测试。
(2)通过/失效标准:依据通过/失效标准决定硅片是否继续后面的制造程序。
(3)数据收集:为了改进工艺,收集硅片数据以评估工艺倾向(如沟道长度的改变)。
(4)特殊测试:在需要的时候评估特殊性能参数(如特殊客户需求)。
(5)硅片级可靠性:需要确定可靠性与工艺条件的联系时,进行随机的硅片级可靠性测试。
答案解析:
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