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平板显示技术考试

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简述激光转移技术的工艺流程。

正确答案:1)在载膜基板上先镀一层Mo膜做吸光层。
2)在显示基板上制作了驱动电路的有源矩阵阵列后,最外面曝露的像素电极ITO同时为OLED的阳极。上面先制作像素隔离层。再连续蒸镀空穴注入层、空穴传输层等有机功能层。
3)把载膜基板和显示基板放入真空室,用夹具固定住。
4)抽真空,在真空室内用对位装置将两块基板对准,贴合。贴合后将真空室放大气。
5)将基板移到大气中的激光系统下,放在扫描平台上。用激光系统上的对位装置将激光头与显示基板上的像素精确对位。然后激光头向y方向移动,扫描平台向x方向扫描。
6)激光照射,吸光层吸收热量,导致发光层真空升华到显示基板的像素位置,实现激光转移。
7)一种颜色的发光层转移完成后,取下夹具,移开载膜基板,重复上面的过程。把红、绿、蓝三基色发光层分三次采用激光转移的方法分别转移到显示基板上。
8)三色发光层转移完成后,夹具取下,载膜基板移开后,最后在显示基板上蒸镀电子传输层和阴极。
答案解析:
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