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集成电路制造工艺员

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在各种离子源常用的放电方式中,EOS是指有()。

  • A、电子振荡放电
  • B、离子自动放电
  • C、低电压弧光放电
  • D、双等离子电弧放电
正确答案:A
答案解析:
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