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集成电路制造工艺员

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真空镀膜室是由（）几部分组成。

  • A、钟罩
  • B、蒸气源加热器
  • C、衬底加热器
  • D、活动挡板
  • E、底盘
正确答案:A,B,C,D,E
答案解析:有
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