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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
A、砷化氢
B、二硼化氢
C、三氟化硼
D、硅烷
E、氧气
正确答案:
A,B,D
答案解析:
有
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