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集成电路制造工艺员

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晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

  • A、除去光刻胶中剩余的溶剂
  • B、增强光刻胶对晶片表面的附着力
  • C、提高光刻胶的抗刻蚀能力
  • D、有利于以后的去胶工序
  • E、减少光刻胶的缺陷
正确答案:A,B,C,E
答案解析:有
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