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集成电路制造工艺员

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下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

  • A、投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高
  • B、接触式的分辨率优于接近式
  • C、接近式的分辨率受到衍射的影响
  • D、投影式曝光系统中不会产生衍射现象
  • E、投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
正确答案:A,B,C,E
答案解析:有
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