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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。
A、注入离子的质量
B、靶的种类
C、注入温度
D、注入速度
E、注入剂量
正确答案:
A,B,C,D
答案解析:
有
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