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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
（）的气体源中一般包含H
+
，C
+
，B
+
，Cl
+
，O
+
等离子。
A、Cl
2
B、BCl
3
C、CO
2
D、H
2
正确答案:
B
答案解析:
有
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