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集成电路制造工艺员

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二氧化硅生长过程中,当分凝系数小于1时,会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度()。

  • A、降低
  • B、增加
  • C、不变
  • D、先降低后增加
正确答案:A
答案解析:
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