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集成电路制造工艺员

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在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。

  • A、铜
  • B、铝
  • C、金
  • D、二氧化硅
正确答案:D
答案解析:有
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