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集成电路制造工艺员

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关于正胶和负胶的特点,下列说法正确的是()。

  • A、正胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率高于负胶
  • B、正胶的感光区域在显影时不溶解,负胶的感光区域在显影时溶解
  • C、负胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率不会降低
  • D、正胶的感光区域在显影时溶解,负胶的感光区域在显影时不溶解
  • E、负胶在显影时会发生膨胀,导致了分辨率的降低
正确答案:A,C,E
答案解析:
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